業界別製品事例

「半導体製造装置　プラズマ編」

株式会社グローブ・テックです。

今回の配信では、業界別の製品事例として半導体製造装置のプラズマ環境下でよく使用される製品を用途別に紹介します。

【プラズマとは・・・　？】

 半導体製造の工程では、高周波(RF電流)や直流電流(DC)、マイクロ波などによって原料ガスをプラズマ化させることで半導体基板(ウエハー)に様々な処理を行います。

具体的には、ウエハー表面に薄膜を形成するプラズマCVD、半導体基板の表面に溝やパターンを掘るプラズマドライエッチングなどの工程があります。

事例①【導波管接続】

導波管とは、高周波電波を伝送する為に使用される伝送路です。

半導体製造装置では高周波源とプラズマ源を接続したり、高周波を真空チャンバー内に送り込んだりするために用いられます。

グローブ・テックでは導波管-導波管、導波管-設備筐体などの高周波接続の安定性を上げる電気接点を販売しています。接触抵抗の低さや、繰り返し使用可能な点などをご評価いただき、多くの半導体製造装置メーカー様にご採用頂いています。

事例②【真空用コネクタ】

プラズマを発生させる環境は真空となります。

機器の制御や動力などの電気導通が必要な場合には、気密性を確保した状態で電気の導入を行う必要があります。

グローブ・テックでは、真空導入用に使用できるハーメチックコネクタやアウトガスの出にくい真空用のコネクタを取り扱っております。カスタム対応も可能です。

事例③【高周波ノイズ(RF）フィルタ】

プラズマを発生させるには高周波を発生させる必要がありますが、高周波はノイズを発生させやすい特性を持っています。

周辺の信号機器やヒーター電源などにノイズが乗ると、本来取り出したい信号を取り出せなかったり、機器が誤動作を起こすリスクが生じます。

グローブ・テックでは周波数帯域や極数、機器の出力に合わせて、設計可能な非常にコンパクトなノイズフィルタを取り扱っています。

事例④【高電圧ケーブル/コネクタ】

プラズマを制御するためには高電圧電源が必要となります。

グローブ・テックでは高電圧ケーブルやコネクタ、それらのアセンブリ品を取り扱っております。

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