株式会社グローブ・テックです。
今回の配信は、
高周波ノイズのフィルタリングが可能な製品「WCM社製 RFフィルタ-」のご紹介です。
半導体製造装置のプラズマ発生などで使用する高周波電源からはノイズが発生します。 そういった環境下で機器を使用した場合、ノイズにより誤作動が生じたり、故障してしまう危険があります。 RFフィルターは機器に流入するノイズをフィルタリングすることで機器への影響を防ぎます。
【特長】
WCM社製のRFフィルターは独自のコイリング技術により下記の特長を持ちます。
・フィルタリングが必要な帯域をカスタム設計
・複数チャンネルのフィルターを一体化
・同一チャンネル内で複数帯域を同時フィルタリング
・コンパクトな設計
・高い温度安定性
【フィルタリングが必要な帯域をカスタム設計】
お客様の要望に合わせて350kHz-50MHzの範囲をピンポイントでフィルタリングする設計が可能です。
指定の周波数に合わせてインピーダンスを調整することでノイズの通過を防ぎます。
右のグラフは13.56MHzにターゲットを合わせたフィルターの周波数ごとのインピーダンス特性を記したものです。
【複数チャンネルのフィルターを一体化】
WCM製のRFフィルターは銅箔を積層する形で製作することで、LC並列フィルターと同様の機能を持ちます。
積層方式とすることで、複数の極数のフィルタリングを一つの筐体で実現します。
【同一チャンネル内で複数帯域を同時フィルタリング】
WCM社では銅箔コイルを直列に接続することで、1つのチャンネルで複数の周波数帯を同時にフィルタリングすることが可能です。
【コンパクトな設計】
LC並列フィルターでは複数チャンネルを一体化できずサイズが大きくなってしまいます。
WCMのRFフィルターはチャンネルを一体化することにより非常にコンパクトな設計が可能です。
事例 CH数:2ch フィルタリング周波数:13.56MHz ±0.5MHz
回路構造
【高い温度安定性】
WCMのRFフィルターは200℃までの環境で使用が可能です。
温度変化に伴う磁気特性の変化や損失の可能性があるフェライトコアを使用しないため温度変化に対して安定した特性を持ちます
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